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离子注入-艾恩半导体
Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台，金属Al离子源，全自动晶片传输系统。
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